光束質(zhì)量指激光束的橫向和縱向斑點(diǎn)大小、斑點(diǎn)大小比、橫向和縱向輻射角以及相干度等參數(shù)。光束質(zhì)量的好壞對(duì)激光束在光學(xué)系統(tǒng)中的傳輸效果和加工質(zhì)量有很大的影響。因此,光束質(zhì)量分析儀在激光系統(tǒng)的應(yīng)用中具有重要的意義。
激光束分析儀用于確定激光束的質(zhì)量。激光束分析儀測(cè)量光束輪廓、平均功率、每脈沖能量、頻率和時(shí)間脈沖形狀。許多激光束分析儀都是便攜式的,使它們能夠在制造或研究環(huán)境中用于多個(gè)激光器。
激光光束質(zhì)量是激光器的一個(gè)重要技術(shù)指標(biāo),它是整個(gè)光束在空間中傳播的特征。該參數(shù)可由多個(gè)測(cè)量技術(shù)在傳播光束的幾個(gè)點(diǎn)上進(jìn)行測(cè)量。該標(biāo)準(zhǔn)定義了幾種測(cè)量技術(shù),所有這些技術(shù)都是基于使用CCD、刀口和狹縫等設(shè)備進(jìn)行的光束輪廓測(cè)量。
測(cè)量的主要要求有兩點(diǎn):一是聚焦光束的測(cè)量,二是準(zhǔn)直激光的測(cè)量。對(duì)于后者,基本的工作原理是通過(guò)透鏡聚焦入射的激光束,在其相對(duì)的兩側(cè)形成一個(gè)腰部位置和一個(gè)發(fā)散光束。通過(guò)多次掃描和計(jì)算0焦點(diǎn)處的束腰和瑞利長(zhǎng)度遠(yuǎn)場(chǎng)發(fā)散,可以確定M2測(cè)量的準(zhǔn)確值。
光束質(zhì)量分析儀是測(cè)量激光光束的強(qiáng)度截面的裝置。光束質(zhì)量分析儀(光束分析儀,模式分析儀)是一種診斷裝置,可以測(cè)量激光光束的整個(gè)光強(qiáng)截面,即不僅能測(cè)量光束半徑還可以測(cè)量得到細(xì)節(jié)形狀。
光束質(zhì)量分析儀是一種診斷裝置,可以測(cè)量激光光束的整個(gè)光強(qiáng)截面,即不僅能測(cè)量光束半徑還可以測(cè)量得到細(xì)節(jié)形狀??梢杂糜谝韵路矫妫憾ㄐ越o出光束截面可以用于激光的對(duì)準(zhǔn),而測(cè)量光軸不同位置處的光束半徑可以計(jì)算 M2因子或者光束參量乘積,定性表征光束質(zhì)量。